原子吸收發(fā)射光譜儀是一種由高頻發(fā)生裝置(幾十兆赫茲) 、單色器、光電接收裝置、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成的設(shè)備。其工作原理主要是高頻發(fā)生裝置輸出的電感耦合管狀體里(高溫體)注入樣品、氬氣、氮氣等混合氣體(一定比例)。使樣品原子化顯現(xiàn)光譜，用單色器等光學(xué)器件來處理光譜，再由光電接收裝置測量它的光譜強度，然后計算機等數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，根據(jù)標準樣品作標準曲線(數(shù)學(xué)模型)，這樣可以根據(jù)標準曲線算出被測樣品含量。

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